مقاوم
جهاز الاستشعار المقاوم هو جهاز يحول الكميات الفيزيائية المقاسة مثل الإزاحة والتشوه والقوة والتسارع والرطوبة ودرجة الحرارة وما إلى ذلك إلى قيم المقاومة. يوجد بشكل أساسي مقياس ضغط مقاوم، ونوع مقاوم للضغط، ومقاومة حرارية، وأجهزة استشعار حرارية، وحساسة للغاز، وحساسة للرطوبة وغيرها من أجهزة الاستشعار المقاومة.
مقياس الضغط المقاوم
تتمتع مقاييس الانفعال المقاومة في المستشعر بتأثير انفعال معدني، أي أن التشوه الميكانيكي يحدث تحت تأثير قوة خارجية، بحيث تتغير قيمة المقاومة وفقًا لذلك. هناك نوعان رئيسيان من مقاييس انفعال المقاومة: المعدن وأشباه الموصلات، وتنقسم مقاييس الانفعال المعدني إلى نوع السلك ونوع الرقائق ونوع الغشاء الرقيق. تتميز مقاييس ضغط أشباه الموصلات بمزايا الحساسية العالية (عادة عشرات المرات من أنواع الأسلاك والرقائق) والتأثير العرضي الصغير.
مقاوم للضغط
أجهزة الاستشعار المقاومة للضغط هي أجهزة مصنوعة عن طريق مقاومة الانتشار على ركيزة المواد شبه الموصلة وفقًا للتأثير المقاوم للضغط للمواد شبه الموصلة. يمكن استخدام الركيزة مباشرة كعنصر استشعار للقياس، ويتم توصيل مقاومة الانتشار بالركيزة على شكل جسر. عندما تتشوه الركيزة بواسطة قوة خارجية، ستتغير قيم المقاومة، وسينتج الجسر مخرجات غير متوازنة مقابلة.
مواد الركيزة (أو الحجاب الحاجز) المستخدمة كمستشعرات مقاومة التجويف هي بشكل أساسي رقائق السيليكون ورقائق الجرمانيوم، وقد جذبت مستشعرات مقاومة الضغط السيليكونية المصنوعة من رقائق السيليكون كمواد حساسة المزيد والمزيد من الاهتمام، خاصة بالنسبة لأجهزة استشعار مقاومة الضغط ذات الحالة الصلبة التي تقيس الضغط والسرعة.
الحق في التنمية
يعتمد قياس درجة حرارة المقاومة على حقيقة أن مقاومة الموصل المعدني تزداد مع زيادة درجة الحرارة. تصنع المقاومة الحرارية في الغالب من مواد معدنية نقية، ويعتبر البلاتين والنحاس الأكثر استخدامًا على نطاق واسع، وقد بدأ استخدام مواد مثل النيكل والمنغنيز والروديوم لصنع المقاومات الحرارية.
تقوم أجهزة استشعار RTD بقياس درجة الحرارة والمعلمات المتعلقة بدرجات الحرارة باستخدام حقيقة أن قيمة المقاومة تتغير مع درجة الحرارة. يعد هذا المستشعر مناسبًا أكثر للمناسبات التي تتطلب دقة الكشف عن درجة الحرارة. مواد RTD الأكثر شمولاً هي البلاتين والنحاس والنيكل وما إلى ذلك، والتي تتميز بخصائص معامل درجة الحرارة الكبير للمقاومة، والخطية الجيدة، والأداء المستقر، ونطاق درجة الحرارة الواسع والمعالجة السهلة. يتم استخدامه لقياس درجة الحرارة في نطاق -200 درجة ~+500 درجة.